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Nano Electronics and Micro System Technologies, Inc.

Tainan,  Taiwan
http://www.nemstek.com.tw
  • Booth: L0100

Overview

Nano Electronics and Micro System Technologies, Inc. (NEMS Tech.), which possesses excellent technologies and strong research group, mainly provides state-of-the-art plasma technologies and advanced technical services. From Year 1999, many advanced electrodes and patents based on Inductively Coupling Plasma (ICP) technology have been developed, and different kinds of plasma equipments and coating techniques have been successively produced. Not only these products or technologies are gradually applied in PCB, Packaging, Semiconductor, Optoelectronics, 3C electronics fields, but also other industries or bio-medical industry.


  Press Releases

  • 隨著地緣政治風險加劇,全球半導體供應鏈正迎來一場前所未有的結構性重整。自2025年起,美中科技戰延燒至晶片製程設備與EDA軟體,出口管制成為常態,讓「製程主權」從產能競賽轉為攸關國家安全的戰略課題。在這波轉型浪潮中,台灣憑藉晶圓代工領先優勢站上全球舞台,而「設備自主化」更成為鞏固科技地位與製程韌性的必要關鍵。

    深耕電漿製程技術的本土設備廠——暉盛科技,正是這波浪潮中的重要推手。長年投入自主研發的暉盛,擁有自製電源模組、控制系統與製程腔體等全機設計能力,並結合模組化架構與奈米級能量控制,成功打造出可靈活對應先進封裝與載板製程的電漿處理平台。不僅打破對外部設備依賴,也展現本土技術自主的真正價值。

    在三維異質整合(SoIC)逐步成為下一代晶片架構核心技術的同時,「Hybrid Bonding」成為實現多晶粒垂直堆疊的關鍵工藝,而暉盛的電漿處理技術,正扮演著幕後功臣的角色。其平台可精準控制等離子體能量,有效清除晶片界面有機殘留與氧化層,並在原子尺度激發材料活性,使晶粒間能在低溫下實現高強度鍵合,大幅提升製程良率與穩定性。這項技術已從輔助性設備轉化為影響整體封裝可靠度的核心工序。

    面對FOPLP(Fan-Out Panel Level Packaging)快速崛起所帶來的製程挑戰,暉盛的設備同樣展現強大應變能力。FOPLP因具備高產能與成本效益,被視為封測產業的新藍海,然而其對大面積基板(如850x750mm)與異質材料處理的均勻性要求極高。暉盛憑藉其高均勻度電漿處理能力與模組化設計,成功實現Hybrid Bonding前處理、玻璃與ABF載板蝕刻、Mini LED封裝等多元應用,持續拓展其「電漿核心、全流程支援」的解決方案版圖。

    在產業對製程韌性與資安穩定性的需求不斷升溫之際,半導體設備的角色已從生產工具轉變為關鍵戰略資產。暉盛科技正以「技術自主」為核心戰略,提供快速導入、靈活調整與即時維運的本地化方案,在全球供應鏈風險高漲的當下,為台灣先進封裝產業築起一道堅實防線。

    從SoIC的原子級鍵合,到FOPLP的大面積處理挑戰,暉盛科技證明:台灣不僅有能力造設備,更有能力創造具競爭力與升級潛力的製程技術。設備自主化不只是應對風險的解方,更是推動半導體產業持續領先的創新引擎。未來,暉盛將持續以電漿平台為基礎,攜手供應鏈夥伴,在瞬息萬變的全球競局中,打造屬於台灣的製程韌性新典範。