為了因應半導體先進製程、先進封裝CoWoS&CoPoS對極端製程環境的耐受性與可靠性需求,棕茂科技(CTC)積極投入高性能高熵陶瓷&玻璃陶瓷材料陶瓷之研發
並成功開發出多晶YAG與高純度Al2O3、Y₂O₃陶瓷 成為國內少數具備全密度燒結&加工能力的材料&重要製程設備零件供應商。
相較於傳統的陶瓷材料,YAG與Y₂O₃、高純度Al2O3展現更優異的抗等離子體腐蝕性,抗蝕性能提升幅度高達50%以上,可有效延長半導體設備關鍵零組件(如Shower Head、Heater、E-Chuck)之使用壽命,並降低製程污染風險,提升晶圓良率。
此外,並且具備高熱穩定性、低熱膨脹係數及等優點,在高溫變化劇烈的CVD與Etching製程中仍能保持結構完整性,為半導體先進製程製程提供堅實材料保障。
透過引進德國、日本真空高壓燒結設備,CTC已能供應高性能高熵陶瓷&玻璃陶瓷材料陶瓷,為半導體先進製程設備提供具競爭力的在地國產化供應解決方案,成功突破過去對歐、美、日高端陶瓷材料的依賴,開啟台灣半導體材料自主的新篇章。