本公司一段式真空壓膜設備採用矽膠膜(Diaphragm)壓合技術,搭配真空除氣功能,可有效消除貼合過程中因基板表面凹凸所造成之氣泡與皺摺,提升貼合品質與良率。
相較於傳統油壓式系統,本設備以壓空與高彈性矽膠膜取代油壓缸體,實現低壓、均勻且柔性的加壓過程,特別適用於對壓力敏感之脆弱材料,例如超薄晶圓(Ultra-Thin Wafer)與乾膜類材料(如 DF-Solder Mask、Build-up Film)之應用。
主要特點:
- 採用真空與彈性矽膠膜壓合,適用於多種異材質與異形基板
- 無油壓設計,運轉環境乾淨、無污染,且維護保養便利
- 可搭配小型手動壓膜設備(V-130 / V-160 機型)應用於產品開發階段或低產能試產線