LBT 系列空氣軸承模組採用非接觸式空氣軸承設計,徹底解決了傳統機械軸承因摩擦所帶來的磨損、發熱與精準度下降等問題。
極致精準,領先業界: 在半導體製造中,微米甚至奈米級的精準度至關重要。LBT 系列在 300mm 的行程內,重複定位精度可達 ±0.25μm,完美滿足 iMicro LED、半導體 AOI (自動光學檢測)、PCB 檢測等嚴苛應用需求。
零磨耗,潔淨無塵: 由於無接觸運動,LBT 系列不僅能消除機械磨損,更避免了潤滑油污染問題,使其達到 無塵等級 Class 1 的潔淨標準,特別適合在無塵室環境中運行,確保製程純淨。
穩定高速,完美表現: 在 100mm/s 的速度下,速度波動僅為 0.1%,確保了運動的平穩與一致性,對於需要高速移動且同時保持高精度的量測與檢測任務而言,此特性至關重要。
精密幾何,奈米級平坦: 產品具備優異的幾何精度,其直線度與平面度在 300mm 行程內可控制在 ±0.75μm。同時,其 Pitch 和 Yaw 的自由度可控制在 ±2 arc sec,為精密光學對準與運動控制提供了堅實保障。