創智先進科技股份有限公司

智慧晶圓感測器（Smart Sensing Wafer）

Smart Sensing Wafer 是一款專為半導體機台設計的多功能先進量測儀器，整合振動、水平與溫濕度三大感測功能，提供設備All-in-one 智慧監控方案。

產品特色：

• 搭載高精度振動感測器，即時監控機構運作與異常振動

• 整合水平感測與溫濕度監控，防止晶圓刮傷與環境異常

• 內建快閃儲存裝置，可深入腔體進行量測，避免無線中斷影響

• 搭配專屬量測軟體，支援即時趨勢圖、歷史比對與數據分析

本產品廣泛應用於晶圓傳送製程、振動監控、環境參數記錄與設備校準，是半導體業提升製程穩定度與智慧管理效率的理想選擇。

應用場景

• 晶圓傳送製程穩定性監控
• 半導體機械手臂動態狀態量測
• OHT 天車運作狀態監控
• AGV 無人搬運車動態長期監控
• 設備內部運行異常分析
• FOUP 傳送穩定性分析與校準監控

智慧聲紋分析系統是一款專為工業設備異常監控與預警而設計的智慧型狀態分析工具。系統透過高靈敏麥克風長時間監控設備在運作過程中所產生的聲音變化，搭配專屬聲紋分析軟體，將音頻轉換為可視化的高、中、低頻聲譜圖，有效呈現馬達、軸承、泵浦等機構在不同運行狀態下的聲紋特徵。

當設備發生異常，如軸承磨損、零件鬆動或內部震動異常時，往往會先透過「聲音」表現出不同於平時的訊號。系統可即時偵測這些異常聲紋，進行特徵比對與告警，協助第一時間排除潛在風險，避免進一步損壞。

此外，系統可同時整合振動與溫度感測數據，並導入 AI 預測演算法，建立專屬的健康狀態基準模型。透過機器學習的持續優化，能準確辨識設備異常來源與潛在劣化趨勢，大幅提升預防性維護（Predictive Maintenance）效率，減少非預期停機與突發性維修成本。

智慧聲紋分析系統適用於半導體製造、精密機械、馬達泵浦、AGV無人搬運系統等領域，協助企業從傳統定期保養，邁向智慧預警與即時健康管理，是企業實現設備智慧化、運行穩定化與效率最大化的理想選擇。

iVS 振動感測器與量測監控系統｜高整合工業振動分析解決方案

由創智先進科技自主研發的 iVS 振動感測器與量測監控系統，採用高精度三軸振動感測技術，透過 USB 有線連接方式，實現即時振動訊號傳輸與分析。該系統具備高整合性與穩定性，特別適用於工業設備、機械加工、電機驅動、半導體製程等高精密應用領域。

整體架構採用實體連線架構，以 iVS 感測器連接至 IPC 工業電腦進行資料收集與分析，確保數據傳輸穩定且準確，適合長時間運行與嚴苛環境使用。系統搭配專屬量測軟體，可即時擷取設備振動的時域與頻域資料，並將資訊以視覺化圖形清楚呈現，協助使用者即時掌握設備運行狀態。

iVS 系統支援 Edge 側錄儲存，即使在無網路或主系統中斷情況下，仍可持續進行本地資料記錄與異常事件追蹤。此外，透過整合 AI 分析模組，可針對振動變化進行異常辨識、趨勢預測與健康狀態評估，協助工廠提前啟動預防性維護（Predictive Maintenance），大幅降低突發故障與維修成本。

為便於不同場域應用與系統整合，iVS 系統同時提供開放式 API 接口，可靈活對接既有的設備管理系統（如 SCADA、MES、數據中台等），滿足用戶的客製化監控與二次開發需求。

iVS 系統應用優勢一覽：

• 高精度三軸振動偵測，對異常變化高度敏感

• USB 有線傳輸，安裝簡便、資料穩定

• 即時時域／頻域資料視覺化分析

• Edge 側錄儲存設計，具備中斷防護能力

• AI 模組輔助異常診斷與預測性維護

• 提供 API 介面，便於用戶整合與擴充開發

iVS 振動感測器與監控系統不僅是一項工具，更是協助工業現場邁向 智慧製造、設備數位健康管理 的核心關鍵。

耐衝擊與振動吸收用凝膠材料 & 可重複利用無塵室腳踏黏墊

— 清潔 × 防震 × 保護 × 環保的多功能材料解決方案

創智先進科技股份有限公司代理來自日本的高科技凝膠材料，具備出色的耐衝擊、振動吸收、自黏清潔與可重複使用等多重特性，為半導體、電子製造、精密設備等高標準產業提供最全面的材料支援。

核心特性與應用優勢：

1. 耐衝擊與高阻尼吸震性能

本凝膠材料具有優異的耐衝擊與緩衝吸震能力，能有效吸收來自設備運作或外部環境（如地震、碰撞）的高頻與低頻振動。材料可安裝於機台腳座下方或重要零件底部，減緩震動傳遞，降低損壞風險。特別適用於需防震防滑的精密機構與運輸防護。

2. 無塵室專用自黏清潔墊

凝膠材料具備天然自黏性，能黏取鞋底與物件上的微塵、髒污，廣泛應用於無塵室出入口作為腳踏清潔墊。可水洗清潔並重複使用，不含矽成分，不留殘膠，符合ESG 環保要求，大幅降低耗材使用與廢棄物量。

3. 客製尺寸與簡易安裝

材料可依需求裁切任意尺寸，安裝方式彈性，便於整合至既有設備或環境中。亦可依客戶需求量身訂製特殊尺寸或形狀，適用性廣泛。

4. 多重用途場域適用

• 精密機台防震防滑墊材

• IC 元件、晶圓運送防護緩衝墊

• 無塵室腳踏除塵清潔墊

• 電子包裝防撞防破墊層

• 地震防護減震材料

為什麼選擇我們的凝膠材料？

• 不殘膠、不含矽，設備安全無虞

• 自黏性穩定，不需額外黏著劑

• 可水洗、可重複使用，環保又節省成本

• 高阻尼配方，有效消除振動與衝擊能量

• 實績應用於半導體、生醫、面板、精密儀器產業

本產品為高階製造業導入防震保護與環境潔淨控制的最佳解決方案，兼顧效能、安全與永續理念，是提升設備保護與製程可靠度的關鍵輔助材料。

超薄型振動紀錄器 VibRec｜All-in-one 設備監控解決方案

VibRec 超薄型振動紀錄器是一款專為半導體設備所設計的多功能量測儀器，以高整合、高穩定性為核心，滿足機台在傳送與運作過程中的即時監控需求。產品採用輕薄化設計，能靈活安裝於設備內部有限空間中，適用於各類關鍵製程與機構運作狀態的監控。

多功能一體化設計

VibRec 整合振動、水平與溫濕度三大感測功能於單一設備中，提供完整的 All-in-one 設備健康監控解決方案。

• 振動監控：即時偵測設備在運作過程中的異常震動，提早辨識潛在風險，如軸承磨損、機構偏移等問題。

• 水平監控：監測設備傾斜或偏移角度，確保傳送精準穩定，避免設備長期受力不均。

• 溫濕度監控：記錄環境變化，預防設備因溫度或濕度異常導致性能下降或材料變質。

透過單一裝置整合三項量測功能，不僅降低安裝與佈線成本，更提高資料整合效率，協助使用者快速掌握設備整體健康狀態。

高度整合 × 靈活部署

VibRec 採用超薄型設計，厚度極小，可安裝於半導體設備腔體、載具內部、輸送結構等狹窄空間。結構設計符合工業應用需求，具備抗震、防塵與耐用特性，適合各種嚴苛製程環境下長時間穩定運作。

智能化資料處理與儲存

搭配專屬資料記錄系統與軟體介面，VibRec 能即時收集並記錄感測數據，支援：

• 即時趨勢圖與頻譜圖顯示

• CSV 格式儲存與歷史資料查詢

• 異常判讀與狀態報警功能

資料可與工廠現有系統進行整合（如 MES、SCADA、數據中台），提升設備維護透明度與反應速度。

適用場景

VibRec 適用於多種設備與產線節點，包括：

• 晶圓載具傳送裝置（FOUP、OHT 系統）

• 半導體設備腔體內部振動監控

• 智慧機械與無人搬運車（AGV）之結構監控

• 精密製造設備傾斜與熱環境控制

結語

在智慧製造與預防性維護成為關鍵策略的時代，VibRec 以高整合、高靈敏度與高相容性為特色，協助用戶快速部署監控機制，提升製程穩定性與設備可用率，是推動設備數位健康管理與智慧運維的理想選擇。