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美商法博瑞加股份有限公司台灣分公司

  • Booth: Q5841

Fabreeka, provides max vibration reduction for 104 years.

Overview

Fabreeka® systems take the industry standard to the next level in vibration isolation for precision instruments. Our goal is to lead the world market in designing and manufacturing innovative high-technology vibration isolation systems and solutions for vibration sensitive instruments, equipment, and processes. We use a fully decoupled patented architecture for isolating vibrations from the floor, environment, machines or equipment such as moving stages, fans, and internal motors. Settling times for high-acceleration stages in semiconductor machines typically lie between 200 and 300 ms. Chip manufacturers designing new fabs to meet vibration specs can achieve significant savings by using Fabreeka® devices for sensitive equipment.

Semiconductor chip manufacturing is a very complicated process involving tens of different machines on the production floor. Most of these processes require dedicated precision equipment, chiefly high-resolution units subject to aggressive moving-stage motion. Semiconductor-manufacturing machines are affected by vibrations from the floor or environment, or their own moving parts. Vibrations from various sources reduce throughput and cause excessive wear.

Vibration levels are usually measured before the fab is equipped, but degrade by around 10 – 15 dB over the first two years with increasing amounts of production and maintenance equipment. Production technology developing from 10 to 7 to 5 nm node pose their own challenges by increasing demands on measuring and inspection equipment. Fabs that are already struggling to meet floor vibration criteria for the current

technology node will have even more difficulty in the next node. Vibration isolation platforms are needed

for the equipment to function up to spec.

Fabreeka® offers a wide range of active vibration isolation systems. We adapt of-the-shelf systems to specific OEM specifications on technical performance or dimensional constraints towards completely bespoke solutions that meet the most exacting customer requirements.


  Press Releases

  • Fabreeka 的減振系統,能够大幅度地减少外界干擾的振動,百年來隔振减震經驗,廣泛的產品範圍,能滿足不同行業的需求。

    Overview

    Fabreeka Taiwan 結合我們的供應鏈,捷創科技(Vibtech) 和宇昌科技(Euchang) 提供了完整的產品與震動專業技術服務。

    Fabreeka ® 系統在精密儀器的隔振方面將行業標準提升到了一個新的水準。 我們的目標是引領世界市場,為振動敏感儀器、設備和工藝設計和製造創新的高科技提供隔振系統和解決方案。

    電晶體機器中高加速級的設定時間通常在200ms到300ms之間。晶片製造商設計新的晶圓廠以滿足振動規格,通過將Fabreeka ® 隔振系統用於敏感設備,可以實現顯著的降低成本,新增效益。 

    除了醫學工程和超精密量測應用之外,許多行業都開始使用微米科技和奈米科技。

    電晶體晶片製造是一個非常複雜的過程,涉及生產現場數十臺不同的機器。這些過程中的大多數都需要專用的精密設備,主要是高解析度的設備,這些設備會受到激烈的移動舞臺運動的影響。

    電晶體製造機器受到來自地板或環境的振動或其自身運動部件的影響。來自各種來源的振動會降低設備產出量並導致過度磨損。

    振動水準通常是在晶圓廠設備裝備之前量測的,但隨著生產和維護設備數量的新增,在頭兩年裏,振動水準會下降約10-15dB。從10納米節點到7納米到5納米節點的生產科技對量測和檢測設備的要求越來越高,這給生產科技帶來了挑戰。已經在努力滿足當前科技節點的地板振動標準的工廠在下一個節點將面臨更大的困難。為了使設備達到規格要求,此時需要隔振平臺。

    捷創 (Vibtech) 科技顧問有限公司:累積二十多年以上的微振動設計、評估、問題診斷、檢測經驗等實務與案例,配合專業的分析與模擬軟體、高精度的微振檢測設備與各式防振、隔振設備的設計與安裝技術,可提供高科技產業與精密機械業從微振設計、量測、分析評估、問題診斷到解決方案等全方位的服務。

    羽昌 (Euchang) 科技:花崗石結構件在半導體設備中起到關鍵支撐和穩定作用。採用高品質天然花崗石材料,這些結構件經過精密加工,具備卓越的硬度和耐久性,能夠承受半導體生產過程中高頻率和高強度的操作。

    由於花崗石的低熱膨脹係數和出色的熱穩定性,它在溫度變化較大的環境中仍能保持高精度,確保半導體設備的可靠運行。花崗石還具有優異的抗震性能,有效減小設備振動,提升生產精度和效率。其非磁性和抗腐蝕特性,進一步保障了半導體製造過程中高純度和高精度的要求。花崗石結構件不僅耐用,而且易於維護,是半導體行業中不可或缺的基礎部件。

    Fabreeka + Vibtech捷創 + Euchang羽昌, 能提供您高精密度的振動需求。歡迎和我們聯絡。


  Products

  • 自動平衡式精密氣浮式減震器 (PAL)
    標準的 Fabreeka® PAL 減振器,根據減振器高度的不同,有1.5Hz至2.7Hz的固有頻率。某些訂製型號的固有頻率可以低至0.5Hz。完整的Fabreeka®PAL系統包含至少3個主動減振器(因為3點決定一個平面)。每個減振器都有一個水平調節閥,它是負載傳感器和高度控制單元。可以根據設備的重量增加所需從動減振器的數量。...

  • PAL系列減振器的功能

    PAL減振器可以自動回復到原定的水平位置,進而對於支撐負載的變和重心的轉移做出快速的反應。氣浮式減振系統的性能是需要在減振器固有頻率,水平調節閥的精度和系統整定

    時間這三個因素之間相互調的。對於一個確定的輸入干擾振動,整定時間是指減振器恢復到初始設定位置的時間。這個干擾可以是外界的或者是機器本身引起的,例如龍門吊架或者機台的運行。

     

    Fabreeka. 可以按照客戶具體需求訂做減振器,使其更好的滿足客戶機器的設計要求。 在無塵室的應用中,水平調節閥排放出的氣體被排到室外,減振器也要選用適合無塵室要求的材料和包裝。 此外,也可以用非磁性材料製造減振器。

     

     

    PAL系列減振器的應用:

    自動平衡式精密氣浮式減震器 (PAL)

    自動平衡式精密氣浮式支座 (PLM)

    氣浮式減震平台,光學減震平台

    氣囊式減震器

    大型減震基楚

    汽車測試系统及道路動態模擬系統的減震

    航太測試

    軟支撐系統 (SSS) 用於飛機 GVT地面震動測試

    MRI/NMR 光譜儀設備 (核磁共振成像,核磁共振光譜)

    震動試驗和分析服務

  • 花崗石結構件 (Granite machinery tables)
    花崗石結構件在半導體設備中起到關鍵支撐和穩定作用。採用高品質天然花崗石材料,這些結構件經過精密加工,具備卓越的硬度和耐久性,能夠承受半導體生產過程中高頻率和高強度的操作。...

  • 花崗石結構件在半導體設備中起到關鍵支撐和穩定作用。採用高品質天然花崗石材料,這些結構件經過精密加工,具備卓越的硬度和耐久性,能夠承受半導體生產過程中高頻率和高強度的操作。

    由於花崗石的低熱膨脹係數和出色的熱穩定性,它在溫度變化較大的環境中仍能保持高精度,確保半導體設備的可靠運行。花崗石還具有優異的抗震性能,有效減小設備振動,提升生產精度和效率。其非磁性和抗腐蝕特性,進一步保障了半導體製造過程中高純度和高精度的要求。花崗石結構件不僅耐用,而且易於維護,是半導體行業中不可或缺的基礎部件。

  • 科技廠房/設備 微振動設計與測試
    微振動設計、評估、問題診斷、檢測經驗等實務與案例,配合專業的分析與模擬軟體、高精度的微振檢測設備與各式防振、隔振設備的設計與安裝技術,可提供高科技產業與精密機械業從微振設計、量測、分析評估、問題診斷到解決方案等全方位的服務。...

  • 微振動設計、評估、問題診斷、檢測經驗等實務與案例,配合專業的分析與模擬軟體、高精度的微振檢測設備與各式防振、隔振設備的設計與安裝技術,可提供高科技產業與精密機械業從微振設計、量測、分析評估、問題診斷到解決方案等全方位的服務。

  • ISOTablA桌上型主動隔振系統 Active Vibration Isolation Table
    Fabreeka ® 主動系統使用線性電機科技作為主動驅動器,從而與常用的壓電科技相比,延長了主動執行器的行程。因此,ISO-Table-A平臺具有從0.5Hz開始的主動頻寬,以在低至1Hz的頻率下將環境振動降低10dB。 在非常低的頻率下
    可以達到Nano-E規格。
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  • • 從1Hz以下開始隔振,1Hz時為-5 dB,10Hz時達到>40 dB。

    • 滿足1Hz以下的超低振動標準VC-L和10 Hz以上的VC-N。

    • 有效載荷重量範圍大,可達數噸。

    • 適用於計量、顯微鏡、電晶體生產和品質控制、體外受精等領域的最具挑戰性的應用。

    主要特性

    • 所有六個自由度的隔振

    • 主動隔振<1 Hz-100 Hz

    • 電源插座提供的交流電足够; 不需要壓縮空氣供應

    • 無自然低頻共振,囙此,在5 Hz以下的頻率範圍內也具有出色的隔振特性

    • 卓越的位置穩定性–固有剛度通常比1Hz的被動隔振器高20-30倍

    • 尺寸緊湊

    • 經過長期信賴性測試和嚴格品質控制生產

  • ISOModA 模組化-大負載主動隔振系統
    輕型緊湊型模組化主動隔振系統可抵消影響敏感設備的振動。 流線型設計便於安裝。 ISOMod A由具有精密儀器專業知識的工程師、物理學家和領先的行業顧問開發,是一種革命性的設備,在减少振動和干擾方面發揮著重要用。

    設備可以放置在無限數量的隔振器單元上,彼此獨立安裝。ISOMod A有能力支持大型機器和重型工具系統的負載能力。
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  • 設備可以放置在無限數量的隔振器單元上,彼此獨立安裝。ISOMod A有能力支持大型機器和重型工具系統的負載能力。

    • 一個系統中的隔振器數量不受限制

    • 一套6自由度系統至少有3個模塊單元

    • 負載:100 - 1000 kg /每個模塊

    • 最大可用負載-無限制(非標定制)

    • 適用於靜態應用和高動態應用場合

    • 適用於大型機器、設備和其他系統

    • 適用於特殊要求的設計、產品和功能,以滿足您的需求

  • ISOBlocA 模組化-中等負載主動隔振系統
    ISOBlocA系統是基於元件的模組化主動隔振系統,由至少兩個隔振元件和一個外部控制單元組成。 主要模塊ISOBloc A是為隔振高靜態負載而設計的。 對於負載頻繁變化或無法使用隔振元件的應用,我們提供自動負載調整選項。緊湊的尺寸及其靈活性使該產品系列非常適合安裝在客戶特定的應用中。 一個典型的例子是與光學麵包板的組合。 它充當隔振元件之間的機械連接,可用於各種實驗室設定,例如干涉儀或其他雷射設定。...

  • 隔振科技              ISOBloc A 基於壓電式加速度感測器、快速信號處理和電動         力感測器的控制科技。

    電子系統控制          外部控制單元

    作用力方向            所有六個自由度的主動補償。

    隔振效能              隔離開始於1Hz以下,1 Hz時為-5dB,10Hz時達到>40dB

    主動頻寬              隔振< 1 Hz-100 Hz

    回應時間              暫態響應

    驅動器行程            5 mm垂直,±1.5 mm水准

    最大校正力-2模塊配寘  垂直±12 N,水准±8 N


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