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上海车仪田科技专注于研发制造半导体设备专用光电控制子系统，公司团队成员拥有多年的半导体产品产业化经验，是国内半导体设备龙头公司的光电类供应商战略合作伙伴。
公司在工艺光谱分析、高精度温度测量及控制、气体液体浓度分析等技术领域提供在线检测式零部件和子系统，检测半导体设备上参与关键工艺流程。应用领域几乎覆盖半导体芯片制造的全部制作工艺，包括刻蚀去胶工艺、薄膜沉积外延工艺、热处理工艺、清洗工艺等。
光谱范围：200nm~800nm
光谱分辨率：＜1.5nm
暗噪声：＜20RMS@100ms
积分时间：1ms~30s
温度测量范围：400℃~2000℃（可定制）；
温度分辨率：0.1℃
温度重复性：1℃
温度精度：±1℃
气体：SiF4、WF6、CF4、TiF4（可定制）
重复性：±0.5% F.S.
零点噪声：±0.5% F.S.(3σ)
零点漂移：±1% F.S./day